阴极发光（guāng）是一种光谱分析方法，通（tōng）过电子束轰击材料（liào）产（chǎn）生发光后，用（yòng）来在局（jú）部（bù）范（fàn）围内鉴别材料中的（de）点缺陷和杂质缺（quē）陷，应（yīng）用于微电（diàn）子，半（bàn）导体（tǐ）材料，绝缘（yuán）体，地质学和矿物（wù）学（xué）等领（lǐng）域。